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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 반도체 OES 를 이용한 SBT 박막의 식각 특성 연구

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반도체 OES 를 이용한 SBT 박막의 식각 특성 연구

Semiconductor The Study of Etching Characteristic in SrBi2Ta2O9 Thin Film by Optical Emission Spectroscopy

신성욱(Sung Uk Shin),김창일(Chang Il Kim),장의구(Eui Goo Chang)

한국전기전자재료학회 2001.03

전기전자재료학회논문지 vol. 14 iss. 3 185-189(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2009-560-006545436

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