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한국전기전자재료학회
E²M-전기 전자와 첨단 소재
논문요지 : SOI 와 트랜치 구조를 이용한 초저소비전력형 미세발열체의 제작과 그 특성
논문요지 : SOI 와 트랜치 구조를 이용한 초저소비전력형 미세발열체의 제작과 그 특성
정귀상 , 홍석우 , 이원재 , 송재성
한국전기전자재료학회
2001.03
E²M-전기 전자와 첨단 소재
vol. 14 iss. 3
75-75(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-560-006545532
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