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대한금속재료학회 대한금속재료학회 학술대회 개요집 기계적 damage 된 비정질 규소박막의 RTP 에 의한 결정화 특성 연구
기계적 damage 된 비정질 규소박막의 RTP 에 의한 결정화 특성 연구
The Study on the Crystallization Characteristics of the Mechanical Damaged Amorphous Silicon Thin Film by Rapid Thermal Process
문권진 , 윤종규 , 김형택 , 김영관
대한금속재료학회 1996.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1996 iss. 1 303-303(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-007476954
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