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대한금속재료학회 대한금속재료학회 학술대회 개요집 공정조건에 따른 DLC 막의 잔류응력 및 미세구조변화에 관한 연구
공정조건에 따른 DLC 막의 잔류응력 및 미세구조변화에 관한 연구
A Study on the Residual Stress and Changes of Microstructure of DLC Films for Processing Conditions
최운 , 최원규 , 김형준 , 남승의
대한금속재료학회 1995.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1995 iss. 1 258-258(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-007466618
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