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대한금속재료학회 대한금속재료학회 학술대회 개요집 Si 자기이온주입에 의한 비정질층 형성 기구 및 고상 Epitaxy 에 관한 연구
Si 자기이온주입에 의한 비정질층 형성 기구 및 고상 Epitaxy 에 관한 연구
Atomistic Mechanism of Preamophization by Si Self - Implantation and Solid Phase Epitaxy in Silicon
오재근 , 조남훈 , 노재상
대한금속재료학회 1995.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1995 iss. 1 61-61(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-007464861
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