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대한금속재료학회 대한금속재료학회 학술대회 개요집 TiCl4 와 NH3 를 이용한 저온에서의 TiN 화학증착
TiCl4 와 NH3 를 이용한 저온에서의 TiN 화학증착
Chemical vapor deposition of TiN at low temperatures by using TiCl4 and NH3
민우식 , 박종익 , 이정중
대한금속재료학회 1993.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집 vol. 1993 iss. 1 335-335(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-007401211
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