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대한금속재료학회
대한금속재료학회 학술대회 개요집
크롬 / 구리 박막과 폴리이미드의 접착성에 미치는 아르곤 플라즈마 에칭의 효과
크롬 / 구리 박막과 폴리이미드의 접착성에 미치는 아르곤 플라즈마 에칭의 효과
Effect of Ar RF plasma etchning on the adhesion of Cr / Cu thin film to polyimide
정태경 , 유진 , 김영호
대한금속재료학회
1993.01
대한금속재료학회 학술대회 개요집
vol. 1993
86-86(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2009-580-007424278
₩ 1,000
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