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대한금속재료학회 재료·물성 심포지엄 SiH4 환원에 의한 Selective CVD - W 막특성에 대한 공정온도의 효과
SiH4 환원에 의한 Selective CVD - W 막특성에 대한 공정온도의 효과
Effects of Deposition Temperature on the Properties of Selective CVC - W by SiH4 Reduction
이종무 ( Chong Mu Lee )
대한금속재료학회 1990.01
재료·물성 심포지엄 vol. 4 19-23(0pages)
UCI I410-ECN-0102-2009-580-007114788
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