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한국화학공학회 화학공학의 이론과 응용 플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과
플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과
Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect
김종화 , 한윤봉 ( Jong Wha Kim , Yoon Bong Hahn )
한국화학공학회 1996.01
화학공학의 이론과 응용 vol. 2 iss. 2 2619-2622(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-570-001878001
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