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실리콘 단결정 표면온도 분포의 최적화
Optimization of Surface Temperature Profile of a Silicon Single Crystal
고영덕 , 정자훈 , 강인석 ( Y . D . Koh , J . H . Jeong , I . S . Kang )
UCI I410-ECN-0102-2008-570-001880689
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