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한국화학공학회 한국화학공학회 추계학술발표논문집 텅스텐의 저압 화학증착에서 운반기체 영향
텅스텐의 저압 화학증착에서 운반기체 영향
The effect of carrier gases in LPCVD tungsten
최희석(H . S . Choi), 이시우(S . W . Rhee), 박상규(S . K . Park)
한국화학공학회 1992.01
한국화학공학회 추계학술발표논문집 1992권 74-74(1pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-570-001900159
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