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한국화학공학회
한국화학공학회 추계학술발표논문집
플라즈마 식각공정에서의 미세패턴 형성에 관한 연구
플라즈마 식각공정에서의 미세패턴 형성에 관한 연구
박상규 (정) , 박노철 (학)
한국화학공학회
1992.01
한국화학공학회 추계학술발표논문집
vol. 1992
56-56(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-570-001900331
₩ 1,000
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