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튜브형 가열로 반응기를 이용한 초미립 SiO2 입자의 생성 및 증착 제어
The Control of Ultrafine SiO2 Particle Generation and Deposition by Using the Tube Furnace Reactor
현봉수 , 김교선 ( Bong Su Hyun , Kyo Seon Kim )
UCI I410-ECN-0102-2008-570-001911023
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