CF4 / O2 가스계에 CO 와 CO2 를 첨가한 텅스텐 건식 에칭 반응연구

A study on the dry etching of tungsten with CF4 / O2 / CO and CF4 / O2 / CO2 gas system

권성구(Sung Ku Kwon), 남철우(Chul Woo Nam), 정인재(In Jae Chung), 우성일(Seong Ihl Woo)

한국화학공학회 1991.01

한국화학공학회 춘계학술발표논문집 vol. 1991 200-200(1pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-570-001913390

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