MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향 - 화학공학의 이론과 응용 - 한국화학공학회 - KISS

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한국화학공학회 화학공학의 이론과 응용 MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향

MOCVD 반응기의 샤워헤드의 구조가 박막증착속도의 균일도에 미치는 영향

Effect of the Showerhead Structure of MOCVD Reactor on the Uniformity of Deposition Rate of Thin Film

정원영(Won Young Chung), 김도현(Do Hyun Kim)

한국화학공학회 1995.01

화학공학의 이론과 응용 vol. 1 iss. 2 1345-1348(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-570-001917530

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