CVD 법에 의한 Y계 고온 초전도 박막의 저온 증착

Low - Temperature Deposition of Y - System High - Tc Superconducting Thin Films by Chemical Vapor Deposition

이희균 , 원동연 , 양석우 , 신형식 ( H . G . Lee , D . Y . Won , S . W . Yang , H . S . Shin )

한국화학공학회 1991.01

한국화학공학회 추계학술발표논문집 vol. 1991 220-220(1pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-570-001938831

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