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한국화학공학회
화학공업과 기술
스퍼터 증착된 LaF3 박막의 구조 및 산소검지 특성
스퍼터 증착된 LaF3 박막의 구조 및 산소검지 특성
조원일 , 조병원 , 주재백 , 이성래 , 윤경석
한국화학공학회
1991.11
화학공업과 기술
vol. 9 iss. 6
536-536(1pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-570-001951434
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