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한국화학공학회
화학공업과 기술
반도체재료 및 공정기술 ; 실리콘의 정제 기술
반도체재료 및 공정기술 ; 실리콘의 정제 기술
윤풍
한국화학공학회
1989.09
화학공업과 기술
vol. 7 iss. 3
270-278(9pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-570-001955407
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