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한국화학공학회
화학공업과 기술
반도체재료 및 공정기술 ; 반도체산업에서 화학공학의 역할
반도체재료 및 공정기술 ; 반도체산업에서 화학공학의 역할
문상흡
한국화학공학회
1989.09
화학공업과 기술
vol. 7 iss. 3
263-269(7pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-570-001955412
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