반응성 스퍼트링에 의한 ITO 의 형성과 유전체 소성공정중의 특성변화에 관한 연구

The Effect of Dielectric Firing Process in PDP on the Properties of ITO Prepared by Reactive RF Sputtering

남상옥 , 지성원 , 손재봉 , 조정수 , 박정후 ( Sang Ok Nam , Sung Won Chi , Je Bong Sohn , Jung Soo Cho , Chung Hoo Park )

한국전기전자재료학회 1997.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1997 iss. 1 510-514(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002000081

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