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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 반응성 스퍼터법으로 제작한 SnO2 : Sb 박막의 전기적 · 광학적 특성
반응성 스퍼터법으로 제작한 SnO2 : Sb 박막의 전기적 · 광학적 특성
Electrical and Optical properties of SnO2 : Sb Thin Films Using Reactive Sputtering
정해원 , 김재권 , 이천 , 신재혁 , 송국현 , 신성호 , 박정일 , 박광자
한국전기전자재료학회 1997.01
한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1997 iss. 1 421-424(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002000309
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