Microwave Plasma CVD 에 의한 Diamond 박막의 성장

이병수; 이상희; 박구범; 박종관; 박상현; 유도현; 이덕출

한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 Microwave Plasma CVD 에 의한 Diamond 박막의 성장

Microwave Plasma CVD 에 의한 Diamond 박막의 성장

The Study on Growth of diamond thin films Synthesized by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

이병수 , 이상희 , 박구범 , 박종관 , 박상현 , 유도현 , 이덕출 ( Byoung Soo Lee , Sang Hee Lee , Gu Bum Park , Jong Kwang Park , Sang Hyun Park , Do Hyun You , Duck Chool Lee )

한국전기전자재료학회 1997.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1997 iss. 1 373-376(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002000425

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