RF Sputtering 법에 의한 (Ba,Sr)TiO3 세라믹 박막의 구조적 특성에 관한 연구

A study on the structural properties of (Ba,Sr)TiO3 Ceramics Thin Films by RF Sputtering Technique

신승창 , 정장호 , 배선기 , 이영희 ( Seung Chang Shin , Jang Ho Chung , Seon Gi Bae , Young Hie Lee )

한국전기전자재료학회 1997.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1997 iss. 1 217-220(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002000814

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