4원타깃 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Bi 계 고온 초전도체 박막의 제작

Fabrication of Bi - based High - Tc superconducting thin films by 4 - target RF magnetron sputtering methods

이현수 , 강형곤 , 임성훈 , 한병성 ( Hyun Soo Lee , Hyeong Gon Kang , Sung Hun Lim , Byoung Sung Han )

한국전기전자재료학회 1997.01

전기전자재료학회논문지 vol. 10 iss. 9 869-875(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002015620

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