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한국전기전자재료학회 Proceedings of the 5th International Conference Electron Swarm Parameter in SF6 + Ar Mixture Gas
Electron Swarm Parameter in SF6 + Ar Mixture Gas
Sang Won Lim , Sang Hyeon Seo , Heoi Young You , Sang Nam Kim , Sung Chul Ha
한국전기전자재료학회 1997.01
Proceedings of the 5th International Conference 1997권 146-149(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002004418
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