MCS - BE 법을 이용한 SiH4 가스 프라즈마중의 전자에너지분포함수와 수송특성해석

Analysis of Electron Energy Distribution Function and Transport Characteristic is SIH4 Gas Plasma by MCS - BE Method

이형윤 , 하성철 , 유회영 , 김상남 , 임상원 , 문기석 ( Hyung Yoon Lee , Sung Chul Ha , Heoi Young Yu , Sang Nam Kim , Sang Won Lim , Ki Seok Moon )

한국전기전자재료학회 1997.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1997 154-159(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002014845

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