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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 Pyrazine 이 첨가된 TMAH / IPA 이방성 식각특성
Pyrazine 이 첨가된 TMAH / IPA 이방성 식각특성
TMAH / IPA Anisotropic Etching Characteristics with Addition of Pyrazine
박진성 , 정귀상 ( Jin Sung Park , Gwty Sang Chung )
한국전기전자재료학회 1997.01
한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1997 23-26(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002005379
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