Magnetron sputtering 으로 증착한 ZnO 박막의 특성과 열처리에 따른 비저항과 미세구조

A properties of ZnO thin film deposited by magnetron sputtering and its resistivity and microstructure due to annealing

이승환 , 성영권 , 김종관 ( Seung Hwan Yi , Yong Kwon Sung , Jong Kwan Kim )

한국전기전자재료학회 1997.01

전기전자재료학회논문지 vol. 10 iss. 2 126-133(8pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002005713

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