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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 반응성 이온 식각후 AlCu 막의 부식현상
반응성 이온 식각후 AlCu 막의 부식현상
The corrosion phenomena of AlCu films after reactive ion etching
김창일 , 권광호 , 김상기 , 장의구 ( Chang Il Kim , Kwang Ho Kwon , Sang Gi Kim , Eui Goo Kim )
한국전기전자재료학회 1996.01
한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1996 252-255(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002006290
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