e- - CF4 산란의 전자이동속도 및 특성에너지 연구 - 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 e- - CF4 산란의 전자이동속도 및 특성에너지 연구

e- - CF4 산란의 전자이동속도 및 특성에너지 연구

Electron Swarm Drift Velocity and Characteristics Energy in e- - CF4 Scattering

임상원 , 유회영 , 김상남 , 하성철 ( Sang Won Lim , Heoi Young Yu , Sang Nam Kim , Sung Chul Ha )

한국전기전자재료학회 1996.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1996 169-174(6pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002006492

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