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한국전기전자재료학회
한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집
열 산화막 성장의 스트레스 의존성에 관한 연구
열 산화막 성장의 스트레스 의존성에 관한 연구
Stress Effect of Thermal Oxidation
윤상호 , 이제희 , 원태영 ( Sang Ho Yoon , Jae Hee Lee , Tae Young Won )
한국전기전자재료학회
1996.01
한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집
vol. 1996
67-70(4pages)
UCI
I410-ECN-0102-2008-560-002014885
₩ 1,000
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