D 분과 학술논문발표 ; RF Sputtering 법에 의한 BaTiO3 박막의 제조 및 구조적 특성에 관한 연구

A Study on the Fabrication and Structural properties of BaTiO3 Thin Film by RF Sputtering

이문기 , 류기원 , 배선기 , 이영희 ( Moon Kee Lee , Ki Won Ryu , Seon Gi Bae , Young Hie Lee )

한국전기전자재료학회 1996.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1996 193-197(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002007404

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