3. 학술발표 제 3 분과 ; 이온 주입 실리콘 웨이퍼의 경사각 변화에 따른 이온 반사율에 관한 연구

A study on the Ion Reflective Index by the Oblique Degree Variation of Ion Implantation on Si - Wafer

강용철 , 이경섭 , 이우선 , 국상훈 ( Yong Chul Kang , Gyung Sup Lee , Woo Sun Lee , Sang Hoon Kook )

한국전기전자재료학회 1989.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1989 115-118(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002008441

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