Ⅵ. F 분과 학술발표 ; R . F 스퍼트링에 의한 TiO2 박막의 감습특성

Hygroscopic Characteristics of TiO2 Thin Films Deposited by R . F Sputter

이수정 이성필 박재윤 박상현 고희석 이덕출 ( S . J . Lee , S . P. Lee , J . Y . Park , S . H . Park , H . S . Koh , D . C . Lee )

한국전기전자재료학회 1995.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1995 328-331(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002010392

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