Ⅰ . A 분과 학술발표 ; RF magnetron sputtering 으로 제작한 ZnO / Sapphire 압전 변환기의 전기적인 특성에 관한 연구

Electrical properties of ZnO / Sapphire piezoelectric transducer by RF magnetron sputtering

이종덕 정규원 고상춘 송준태 ( Jong Duk Lee , Kyu Won Jung , Sang Choon Ko , Joon Tae Song )

한국전기전자재료학회 1995.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1995 22-25(4pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002015286

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