Ⅲ . C 분과 학술발표 ; 플라즈마 중합법에 의해 제작된 폴리스틸렌의 레지스트 특성 조사

A Study on Resist Characteristics of Polystyrene by Plasma Polymerization

박상근 박종관 김종석 정해덕 이덕출 ( S . G . Park , J . K . Park , J . S . Kim , H . D . Jung , D . C . Lee )

한국전기전자재료학회 1994.01

한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1994 138-140(3pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002011980

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