Ⅲ . 박막 , 자성 , 기능성소자 분과 ; 대향전극 스퍼트 시스템의 방전특성에 관한 연구
A Study on the Discharge Characteristics of Facing Taget Sputtering System
한국전기전자재료학회
1993.01
이 자료는 4페이지 이하의 자료입니다.
