Ⅲ . 박막 , 자성 , 기능성소자 분과 ; 대향전극 스퍼트 시스템의 방전특성에 관한 연구

A Study on the Discharge Characteristics of Facing Taget Sputtering System

이종호 이규철 남용수 이태식 ( Lee Jong Ho , Lee Kyu Chul , Nam Yong Soo , Lee Tea Sik )

한국전기전자재료학회 1993.01

한국전기전자재료학회 추계학술대회논문집 vol. 1993 128-130(3pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002012361

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