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216.73.217.86
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Ⅲ . 박막 , 자성 , 기능성소자 분과 ; 대향전극 스퍼트 시스템의 방전특성에 관한 연구
A Study on the Discharge Characteristics of Facing Taget Sputtering System
이종호 이규철 남용수 이태식 ( Lee Jong Ho , Lee Kyu Chul , Nam Yong Soo , Lee Tea Sik )
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002012361
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