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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 Ⅱ . 학술발표 제 2 분과 ; ZnO 압전박막의 제조와 유량조절밸브로서의 응용
Ⅱ . 학술발표 제 2 분과 ; ZnO 압전박막의 제조와 유량조절밸브로서의 응용
ZnO Piezoelectric Thin Film Fabrication and Its Application as a Flow - rate Control Microvalve
박세광 ( Sekwang Park )
한국전기전자재료학회 1989.01
한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 vol. 1989 66-69(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002014158
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