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한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 Ⅱ . 학술발표 2 분과 ; Nitoxide 막에 의한 표면 불활성화에 관한 연구
Ⅱ . 학술발표 2 분과 ; Nitoxide 막에 의한 표면 불활성화에 관한 연구
A Study on the passivation of Si by Thermal Ammonia Nitroxide
성영권 최종일 오재하 ( Yung Kwon Sung , Jong Il Choi , Jae Ha Oh )
한국전기전자재료학회 1988.01
한국전기전자재료학회 춘계학술대회논문집 1988권 78-81(4pages)
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002015968
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