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어닐링과 산화에 따른 Tungsten polycide 막 특성의 변화
Effects of Annealing and Oxidation on the Properties of the Tungsten polycide film
홍성현 이장혁 이종무 임호빈 ( Sung Hyun Hong , Jang Hyuk Lee , Chong Mu Lee , Ho Bin Im )
UCI I410-ECN-0102-2008-560-002019148
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