TbFe 스퍼터박막의 두께 및 조성분포 계산 - 전기전자재료학회논문지 - 한국전기전자재료학회 - KISS

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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 TbFe 스퍼터박막의 두께 및 조성분포 계산

TbFe 스퍼터박막의 두께 및 조성분포 계산

Calculation of Thickness and Composition Profiles of Sputtered TbFe Thin Films

박종철 김순광 ( Jong Chul Park , Soon Gwang Kim )

한국전기전자재료학회 1990.01

전기전자재료학회논문지 vol. 3 iss. 2 131-137(7pages)

UCI I410-ECN-0102-2008-560-002019173

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