시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향

대한금속재료학회 재료마당 시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향

황희섭 , 박진형 , 박재근 , 전명철 , 이승석 , 김장열 , 김흥락

대한금속재료학회 2012.04

재료마당 25권 2호 17-21(5pages)

UCI I410-ECN-0102-2013-580-002307604

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