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대한금속재료학회(구 대한금속학회)> 재료마당> 시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향

시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향

황희섭 , 박진형 , 박재근 , 전명철 , 이승석 , 김장열 , 김흥락
  • : 대한금속재료학회(구 대한금속학회)
  • : 재료마당 25권2호
  • : 연속간행물
  • : 2012년 04월
  • : 17-21(5pages)

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I410-ECN-0102-2013-580-002307604

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  • : 공학분야  > 금속공학
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  • :
  • : 격월
  • : 1738-7507
  • :
  • : 학술지
  • : 연속간행물
  • : 2000-2021
  • : 1082


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1β-SIC 분말을 이용한 4H-SIC 단결정 성장 기술

저자 : 김영희 , 김수룡 , 권우택 , 이윤주 , 정은진

발행기관 : 대한금속재료학회(구 대한금속학회) 간행물 : 재료마당 25권 2호 발행 연도 : 2012 페이지 : pp. 4-10 (7 pages)

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2고품위 SIC 단결정 웨이퍼 제조 기술

저자 : 김장열 , 여임규 , 은태희 , 전명철

발행기관 : 대한금속재료학회(구 대한금속학회) 간행물 : 재료마당 25권 2호 발행 연도 : 2012 페이지 : pp. 11-16 (6 pages)

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3시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향

저자 : 황희섭 , 박진형 , 박재근 , 전명철 , 이승석 , 김장열 , 김흥락

발행기관 : 대한금속재료학회(구 대한금속학회) 간행물 : 재료마당 25권 2호 발행 연도 : 2012 페이지 : pp. 17-21 (5 pages)

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4SIC 단결정 박막 성장 기술

저자 : 방욱

발행기관 : 대한금속재료학회(구 대한금속학회) 간행물 : 재료마당 25권 2호 발행 연도 : 2012 페이지 : pp. 22-27 (6 pages)

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5칼럼: 우리학회의 역삼동(과총회관)시대의 회고

저자 : 김상주

발행기관 : 대한금속재료학회(구 대한금속학회) 간행물 : 재료마당 25권 2호 발행 연도 : 2012 페이지 : pp. 40-46 (7 pages)

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