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대한금속재료학회
재료마당
시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향
시리콘 카바이드(SIC)CMP 슬러리의 연구 동향
황희섭 , 박진형 , 박재근 , 전명철 , 이승석 , 김장열 , 김흥락
대한금속재료학회
2012.04
재료마당
25권 2호
17-21(5pages)
UCI
I410-ECN-0102-2013-580-002307604
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