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한국전기전자재료학회> 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.)> 논문 : 반도체 ; Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향

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논문 : 반도체 ; Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향

Effect of Cerium Ammonium Nitrate and Alumina Abrasive Particles on Polishing Behavior in Ruthenium Chemical Mechanical Planarization

이상호 , 이승호 , 강영재 , 김인권 , 박진구
  • : 한국전기전자재료학회
  • : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권9호
  • : 연속간행물
  • : 2005년 09월
  • : 803-809(7pages)

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UCI(KEPA)

I410-ECN-0102-2009-560-001113356

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  • : 공학분야  > 전기공학
  • : KCI등재
  • :
  • : 격월
  • : 1226-7945
  • : 2288-3258
  • : 학술지
  • : 연속간행물
  • : 1988-2020
  • : 4451


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1논문 : 반도체 ; AlχGa(1-χ)As-GaAs 양자우물에서 시도함수에 따른 결합에너지

저자 : 이건영 , 이무상 , 전상국

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 781-786 (6 pages)

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2논문 : 반도체 ; 텅스텐 CMP에서 산화제 영향에 관한 연구

저자 : 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정석훈 , 서헌덕 , 정해도 , 김호윤 , 김형재

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 787-792 (6 pages)

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3논문 : 반도체 ; Cu 배선의 평탄화를 위한 ECMD에 관한 연구

저자 : 정석훈 , 서헌덕 , 박범영 , 박재홍 , 박성민 , 정문기 , 정해도 , 김형재

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 793-797 (5 pages)

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4논문 : 반도체 ; 경사진 전극링을 이용한 고균일도의 미세 솔더범프 형성

저자 : 주철원 , 이경호 , 민병규 , 김성일 , 이종민 , 강영일

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 798-802 (5 pages)

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5논문 : 반도체 ; Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향

저자 : 이상호 , 이승호 , 강영재 , 김인권 , 박진구

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 803-809 (7 pages)

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6논문 : 전자세라믹 ; Pulsed Laser Deposition에 의해 SrRuO3/SrTiO3 기판위에 여러 가지 증착온도에서 증착된 Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 박막의 특성

저자 : 이우성 , 정관호 , 김도훈 , 김시원 , 김형준 , 박종령 , 송영필 , 윤희근 , 이세민 , 최인혁 , 윤순길

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 810-814 (5 pages)

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7논문 : 전자세라믹 ; Glass 첨가량에 따른 ZnO 바리스터의 전기적 특성

저자 : 조현무 , 이종덕 , 박상만 , 이성갑

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 815-820 (6 pages)

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8논문 : 전자세라믹 ; 하소온도변화에 따른 (Na,K)NbO3계 무연 압전세라믹스의 압전 및 유전특성

저자 : 류성림 , 정광현 , 류주현 , 이병률 , 정영호

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 821-826 (6 pages)

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9논문 : 전자세라믹 ; Ag가 함유된 전도성 도료의 제조 조건에 따른 고주파 특성

저자 : 박상훈 , 김정표 , 성원모

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 827-832 (6 pages)

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10논문 : 센서,기능성박막 ; EDLC용 Carbon-PTFE 전극의 제조 및 전기화학적 특성

저자 : 김익준 , 이선영 , 문성인

발행기관 : 한국전기전자재료학회 간행물 : 전기전자재료학회논문지(J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng.) 18권 9호 발행 연도 : 2005 페이지 : pp. 833-839 (7 pages)

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