간행물

한국화상학회> 한국화상학회지

한국화상학회지 update

Journal of Korean Society for Imaging Science and Technology

  • : 한국화상학회
  • : 공학분야  >  기타(공학)
  • : KCI후보
  • :
  • : 연속간행물
  • : 계간
  • : 1226-0517
  • : 2288-9604
  • :

수록정보
수록범위 : 1권1호(1995)~25권2호(2019) |수록논문 수 : 520
한국화상학회지
25권2호(2019년 06월) 수록논문
최근 권호 논문
| | | |

KCI후보

1아민아세테이트계 계면활성제와 초임계 이산화탄소를 이용한 반도체 웨이퍼 포토레지스트 패턴 건조

저자 : 임권택 ( Kwon Taek Lim ) , 황하수 ( Ha Su Hwang ) , 김현정 ( Hyun Jung Kim )

발행기관 : 한국화상학회 간행물 : 한국화상학회지 25권 2호 발행 연도 : 2019 페이지 : pp. 34-40 (7 pages)

다운로드

(기관인증 필요)

초록보기

본 연구에서는 비불소계 트리이소프로필 아민 아세테이트 (TAA) 화합믈을 사용하여 반도체 웨이퍼의 포토레지스트 패턴 건조 성능을 조사하였으며, 초임계이산화탄소 용 계면활성제로 잘 알려진 불소계 저분자량 화합물, PFPE-COOH 및 PFPE-COO-NH4+과 비교하였다. 초임계 공정 후 얻어진 포토레지스트 패턴의 모양은 이산화탄소 압력,온도, 시간 등 공정 처리 조건에 따라 달라졌으며, 최적의 조건에서 포토레지스트 패턴 붕괴가 거의 없는 결과를 얻을 수 있었다. TAA를 사용하는 초임계 세정은 PFPE-COOH에 비해 다소 떨어지지만 일반 습식 세정 방법보다는 우수한 패턴 형성 성능을 나타내었으며, 이것은 경제적이고 환경친화적인 새로운 계면활성제로서의 가능성을 보였다.


In this study, drying of photoresist patterns on semiconductor wafers was investigated using a triisopropyl amine acetate (TAA) compound and the result was compared with fluorinated low molecular weight compounds, PFPE-COOH and PFPE-COO-NH4 + which were well known as surfactants for supercritical carbon dioxide. The shape of photoresist patterns after the supercritical process depended on processing conditions such as pressure, temperature, treating time, etc, and photoresist patterns collapsed negligibly under optimal conditions. Supercritical cleaning using TAA showed better performance than normal wet cleaning methods although somewhat worse than PFPE-COOH. The TAA compound can be suggested as a potential surfactant that is economical and environmentally friendly.

KCI후보

2폴리[4-트리플로로아세톡시)메틸-1,6-헵타디인]의 합성과 특성

저자 : 정승환 ( Seung-hwan Jeong ) , 임권택 ( Kwon Teak Lim ) , 진성호 ( Sung-ho Jin ) , 제갈영순 ( Yeong-soon Gal )

발행기관 : 한국화상학회 간행물 : 한국화상학회지 25권 2호 발행 연도 : 2019 페이지 : pp. 41-51 (11 pages)

다운로드

(기관인증 필요)

초록보기

(트리플로로아세톡시)메틸 기능기를 갖는 디프로파길 단량체인 4-(트리플로로아세톡시)메틸-1,6-헵타 디인을 합성하고 그 중합실험을 수행하였다. 여러 가지 전이금속촉매를 사용한 4-(트리플로로아세톡시)메틸 -1,6-헵타디인의 고리화중합을 통하여 해당 고분자인 폴리[4-(트리플로로아세톡시)메틸-1,6-헵타디인]을 높은 수율로 합성하였다. 본 중합에서는 몰리브데늄 계 촉매가 텅스텐 계 촉매보다 더 효과적이였다. 반응과정 중 에 생성된 고분자의 가교화반응으로 합성 고분자들은 대부분 유기용매에 용해하지 않았다. 고분자의 IR 스펙 트럼에서는 단량체의 아세틸렌 C≡C 및 ≡C-H 신축진동띠를 보여주지 않았다. 이 고분자는 XRD 회절분석 결 과 대부분 무정형상임이 밝혀졌다.


A dipropargyl monomer with (trifluoroacetoxy)methyl groups, 4-(trifluoroacetoxy)methyl-1,6-heptadiyne was synthesized and polymerized. The cyclopolymerization of 4-(trifluoroacetoxy)methyl-1,6-heptadiyne using transition metal catalysts gave the corresponding poly[4-(trifluoroacetoxy)methyl-1,6-heptadiyne] in high yields. The Mo-based catalysts was found to be more effective for this polymerization than W-based catalysts. The cross-linking reaction of polymer itself during the polymerization process induced the insoluble polymeric products. The IR spectrum of polymer did not show the acetylenic C≡C and ≡C-H stretching frequencies of monomer. And the resulting polymers were found to be mostly amorphorus by X-ray diffraction analysis.

1
권호별 보기
가장 많이 인용된 논문

(자료제공: 네이버학술정보)

가장 많이 인용된 논문
| | | |
1연안해역에서 석유오염물질의 세균학적 분해에 관한 연구

(2006)홍길동 외 1명심리학41회 피인용

다운로드

2미국의 비트코인 규제

(2006)홍길동심리학41회 피인용

다운로드

가장 많이 참고한 논문

(자료제공: 네이버학술정보)

가장 많이 참고한 논문

다운로드

2미국의 비트코인 규제

(2006)홍길동41회 피인용

다운로드

해당 간행물 관심 구독기관

부산대학교 충북대학교 경희대학교 한국산업기술대학교 가톨릭관동대학교
 9
 7
 6
 5
 4
  • 1 부산대학교 (9건)
  • 2 충북대학교 (7건)
  • 3 경희대학교 (6건)
  • 4 한국산업기술대학교 (5건)
  • 5 가톨릭관동대학교 (4건)
  • 6 동의대학교 (3건)
  • 7 한양여자대학교 (3건)
  • 8 홍익대학교 (3건)
  • 9 한국전통문화대학교 (3건)
  • 10 인제대학교 (3건)

내가 찾은 최근 검색어

최근 열람 자료

맞춤 논문

보관함

내 보관함
공유한 보관함

1:1문의

닫기